項次 | 核定年度 | 公司名稱 | 計畫名稱 | 核定日期 |
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1 | 112 | 政美應用股份有限公司 | Panel-Level 大面積 RDL 2D+3D檢測設備計畫 | 2023/07/17 |
2 | 112 | 川寶科技股份有限公司 | 高階載板微影曝光設備開發計畫 | 2023/07/17 |
3 | 112 | 天虹科技股份有限公司 | 先進奈米原子層沈積設備之整機開發與驗證計畫 | 2023/07/17 |
4 | 112 | 弘塑科技股份有限公司 | Si Via 濕式蝕刻製程設備開發 | 2023/07/17 |
5 | 112 | 大量科技股份有限公司 | 半導體3DIC 晶圓堆疊邊緣形貌線上量測設備 | 2023/07/17 |
6 | 112 | 均豪精密工業股份有限公司 | 先進封裝智慧平坦化研磨設備 | 2023/07/17 |
7 | 112 | 辛耘企業股份有限公司 | 類前段高階異質整合封裝單晶圓清洗設備開發 | 2023/07/17 |
8 | 112 | 志聖工業股份有限公司 | SoIC晶圓級封裝金屬熱壓接合製程關鍵設備開發 | 2023/07/17 |
9 | 112 | 亞亞科技股份有限公司 | 晶圓SWIR檢測高精度全自動設備開發 | 2023/07/10 |
10 | 112 | 鋼驊企業股份有限公司 | 高低碳鋼盤元抽線製程模具優化系統暨供應鏈管理平台開發計畫 | 2023/07/10 |