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項次 核定年度 公司名稱 計畫名稱 核定日期
1 112 政美應用股份有限公司 Panel-Level 大面積 RDL 2D+3D檢測設備計畫 2023/07/17
2 112 川寶科技股份有限公司 高階載板微影曝光設備開發計畫 2023/07/17
3 112 天虹科技股份有限公司 先進奈米原子層沈積設備之整機開發與驗證計畫 2023/07/17
4 112 弘塑科技股份有限公司 Si Via 濕式蝕刻製程設備開發 2023/07/17
5 112 大量科技股份有限公司 半導體3DIC 晶圓堆疊邊緣形貌線上量測設備 2023/07/17
6 112 均豪精密工業股份有限公司 先進封裝智慧平坦化研磨設備 2023/07/17
7 112 辛耘企業股份有限公司 類前段高階異質整合封裝單晶圓清洗設備開發 2023/07/17
8 112 志聖工業股份有限公司 SoIC晶圓級封裝金屬熱壓接合製程關鍵設備開發 2023/07/17
9 112 亞亞科技股份有限公司 晶圓SWIR檢測高精度全自動設備開發 2023/07/10
10 112 鋼驊企業股份有限公司 高低碳鋼盤元抽線製程模具優化系統暨供應鏈管理平台開發計畫 2023/07/10
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